MEMSセンサ技術と応用
MEMS技術によりセンサは飛躍的な進化を遂げ、スマートフォンには数種類のMEMSセンサが活用されていることが通常である。今後もMEMSセンサ技術はよりよい社会の実現に貢献し、到来するIoT時代では更なる発展に大きな期待が寄せられている。本講演ではMEMSセンサの技術開発例とその応用について紹介する。
積 知範オムロン株式会社 技術・知財本部 センシング研究開発センタ 技術専門職
プロフィール 1993年熊本大学大学院工学研究科電気情報工学専攻修士課程修了。同年オムロン株式会社に入社、技術本部中央研究所に配属。以来、半導体プロセス、MEMSデバイス、振動発電デバイスの開発に従事、2007年より現職（技術専門職）2006年 立命館大学大学院理工学研究科総合理工学専攻 博士課程修了（博士（工学））IEEE、電気学会、各会員。
